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目前市場上常用的生產型離子注入機主要包括低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束流離子注入機這三種，其中低能大束流離子注入機應用范圍較廣。

離子注入機是半導體晶圓制造等領域的關鍵設備之一。在半導體晶圓制造中，由于純凈硅的導電性能很差，需要加入少量雜質使其結構和電導率發(fā)生改變，從而變成一種有用的半導體，這個過程稱為摻雜。目前摻雜主要有高溫熱擴散法和離子注入法兩種，其中離子注入法應用較為廣泛，市場對離子注入機的使用需求也在逐漸擴大。

目前市場上常用的生產型離子注入機主要包括低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束流離子注入機這三種，其中低能大束流離子注入機應用范圍較廣。離子注入機主要應用于集成電路與IGBT制造、太陽能電池生產、AMOLED面板制造等多個領域。近年來，我國政府先后出臺了《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推進綱要》、《鼓勵集成電路產業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策》等相關利好政策，從稅收、資金等多個方面為國內半導體產業(yè)給予扶持，這也在一定程度上促進了我國離子注入機市場的持續(xù)發(fā)展。

根據(jù)新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《2020－2025年中國離子注入機行業(yè)市場深度調研及發(fā)展前景預測報告》顯示，離子注入機作為半導體晶圓制造等領域的關鍵設備之一，其市場發(fā)展與晶圓加工設備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢息息相關。2019年，全球晶圓加工設備市場規(guī)模增長至650億美元以上，較上一年增長近30個百分點。其中離子注入機占晶圓加工設備的比重約為5％，因此在2019年，全球離子注入機市場規(guī)模將近達到20億美元。而就中國的情況來看，由于國家對半導體晶圓制造產業(yè)的高度重視，我國離子注入機市場發(fā)展逐漸加快，在2019年市場規(guī)模已經增長至4．0億美元，預計發(fā)展到2020年將達到5．5億美元以上，未來市場潛力也是相當巨大。

從市場格局來看，目前在全球離子注入機市場，美國和日本的部分先進企業(yè)占據(jù)著主導地位，主要有日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）、SEN和Invetac等，在市場上有著極強的競爭力。而在中國市場，由于市場起步較晚，技術水平與國外先進企業(yè)相比仍有著巨大差距，目前我國具有代表性的本土企業(yè)主要有凱世通和北京中科信電子裝備這兩家，未來本土企業(yè)發(fā)展空間仍然巨大。

新思界行業(yè)分析人士表示，近年來，我國政府對半導體晶圓制造產業(yè)高度重視，而離子注入機作為半導體晶圓制造等領域的關鍵設備之一，其市場發(fā)展?jié)摿σ蚕喈斁薮蟆＞湍壳皝砜�，由于我國離子注入機市場起步較晚，導致國內相關生產制造技術水平不高，未來本土企業(yè)發(fā)展空間巨大。