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侵權投訴

MEMS

MEMS一般指微機電系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技查看詳情>術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用于高新技術產(chǎn)業(yè),是一項關系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關鍵技術。


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    邊緣AI 2025-01-08
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    人工智能 2019-08-22
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